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蒸着炉

  • 真空蒸着炉
    真空蒸着炉は炭素 - 炭素複合材料の製造に使用されます。
  • Si2O蒸着炉
    酸化シリコンなどの蒸着材料の量産に適しています。高精度温度差制御、高効率炉;高真空昇華、反応、脱脂、脱水、蒸着材料の自動研削、スクレーピング、炉回収などの特殊なプロセス機能を備えています。
  • 酸化ケイ素の真空昇華炉
    酸化シリコンなどの蒸着材料の量産に適しています。高精度温度差制御、高温真空炉;高真空昇華、反応、脱脂、脱水、蒸着材料の自動研削、スクレーピング、炉回収などの特殊なプロセス機能を備えています。
  • 蒸気堆積炉
    蒸気堆積炉は、金属ハロゲン化物を加熱して蒸発させるために使用できます。
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