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酸化ケイ素の真空昇華炉

酸化ケイ素などの蒸着材料の量産に適しています。高精度温度差制御、高温真空炉。高真空昇華、反応、脱脂、脱水、蒸着材料の自動研削削り、炉内回収などの特殊処理が可能です。
可用性ステータス:
数量:


氧化亚硅真空升华炉+水印

酸化シリコンなどの蒸気堆積材料の大量生産に適しています。高精度温度差制御、高温真空炉。高い真空昇華、反応、脱脂、脱水、蒸気堆積材料自動粉砕削減、炉の収集、その他の特別なプロセス機能を備えています。


機器機能:

大量の材料、高い生産効率。

プロセス全体が完全に閉じられており、ほこりの飛行を避けるために自動操作が行われ、生産サイト環境は清潔で整頓されています。

温度は1500度以内に制御され、加熱速度は高速です。真空下で安定した動作を維持できます。


装置のパラメーター


モデル

GJC-SHL-118

GJC-SHL-226

GJC-SHL-385

GJC-SHL-804

炉構造

水平

一定の温度ゾーンサイズ

φ500mm*600mm

φ600mm*800mm

φ700mm*1000mm

φ800mm*1600mm

炉体

内側と外側の二重層の水冷構造、および304ステンレス鋼で作られた冷却水の接触部分は、炉の体を長時間効果的に防止し、ガス漏れ現象現象を使用する

昇華システム

加熱ゾーンは、誘導コイル、重いコランダム、グラファイトハードフェルト、等造積のグラファイトで構成されています。収集エリアは、310Sステンレス鋼と断熱層で構成されています。

温度制御システム

PLCタッチスクリーンの集中制御モードを使用すると、ネットワークポートを使用した自動制御はリモートコントロールを実現できます。

                    暖房システム

多段階の真空ポンプ、真空バルブ、圧力コントローラー、パイプラインで構成されています。

真空システム

多段階の真空ポンプ、真空バルブ、圧力コントローラー、パイプラインで構成されています。

冷却システム

閉じた冷却システムを装備し、脱イオン水を含む内部循環はスケーリング機器パイプラインを引き起こさず、内部循環水損失は小さい、水道水による外部循環、自動水補充、ファンの熱散逸。良好な熱散逸効果、統合された環境保護、小さなフットプリントなど。


この機器は、昇華システム、収集システム、暖房システム、温度制御システム、真空システム、機械システム、冷却システムで構成されています。  





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