蒸気堆積炉

蒸気堆積炉

蒸気堆積炉は、標的材料の表面に固体堆積物を生成するために、特定の圧力下で金属ハロゲン化物、金属有機化合物、炭化水素、およびその他の反応源を加熱および蒸発させるために使用できます。また、C/C複合材料、SIC複合材料、CVD、CVI処理などの炭素源として、炭化水素ガス（C3H8など）を含む複合材料の化学蒸気沈着にも使用されます。

特徴：

1）中または高温では、固体材料が形成され、気相の初期化合物間の気相化学反応を介してマトリックスに堆積します。

2）大気圧または真空条件（陰圧 '堆積、通常は真空堆積フィルムの品質が優れている）の下で堆積することができます。

3）血漿およびレーザー支援技術の使用は、化学反応を大幅に促進するため、堆積をより低い温度で実行できます。

4）コーティングの化学組成は、勾配堆積物または混合コーティングを得るために、気相組成の変化とともに変化する可能性があります。

5）コーティング密度とコーティングの純度を制御できます。

6）メッキ部品の周り。複雑な形状マトリックスと粒状材料でコーティングできます。ワークピースのあらゆる種類の複雑な形状をコーティングするのに適しています。コーティング性能が良好なため、溝、溝、穴、さらにはワークピースの盲目の穴でコーティングできます。

7）堆積された層は通常、円柱の結晶構造を持ち、曲げに耐性がありませんが、その構造は、さまざまな技術による化学反応の気相摂動によって改善できます。

8）さまざまな反応により、さまざまな金属、合金、セラミック、および複合コーティングを形成できます。