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真空蒸着炉
真空蒸着炉は炭素-炭素複合材料の製造に使用され、主に黒鉛、半導体デバイス、耐熱研磨材の表面に熱分解炭素コーティングを製造するために使用されます。
適用範囲:
グラファイト、半導体デバイス、耐熱研磨材。
1. 基本パラメータ:
1) 設計温度: 1250℃/1650℃/1800℃/2200℃
2) 共通温度: 900~1200℃
3) 真空度: < 50Pa
4) 圧力上昇率: 空の炉の冷間状態で 6.67pA /h (または 150Pa/24h)
5) 加熱モード: 黒鉛抵抗加熱または誘導加熱、独立した温度制御、良好な温度均一性
6) 雰囲気媒体: 真空/CH4/C3H6/H2/N2/Ar
7) ガス制御モード: 質量流量計制御、マルチチャネルガス経路、均一な流れ場、蒸着デッドアングルなし、良好な蒸着効果。
多段階かつ効率的な排気処理システム、環境に優しく、掃除が簡単。
8) 炉の種類: 正方形、円形、垂直または水平構造 (非標準設計)、完全に密閉された堆積チャンバー、良好なシール効果、強力な汚染防止能力。
9) 炉冷却モード: 炉殻水冷、外部循環急速冷却システムを選択でき、冷却時間が短く、生産効率が高い。
2.真空蒸着炉の構造：
構造形式：横型 - 横排出、縦型 - 上下排出
炉ドアロックモード：手動/自動
炉殻材質：内側ステンレス鋼/オールステンレス鋼
断熱材：カーボンフェルト/グラファイトフェルト/カーボンファイバー硬化フェルト
ヒーター、マッフル材質：グラファイト/CFC
赤外線機器: シングル比色分析/ダブル比色分析
電源：KGPS/IGBT（中周波加熱のみに適しています）
3、製品 仕様
パラメータ/型番 | GJC-0305-C | GJC-0505-C | GJC-0608-C | GJC-0612-C | GJC-0812-C | GJC-1120-C | GJC-1218-C | GJC-1520-C |
作業ゾーンのサイズ φ×H（mm） | 300×500 | 500×500 | 600×800 | 600×1200 | 800×1200 | 1100×2000 | 1200×1800 | 1500×2000 |
最高温度 （℃） | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 |
温度均一性（℃） | ±5 | ±5 | ±5/±7.5 | ±7.5/±10 | ±7.5/±10 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±15/±20 |
限界真空度（パ） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
圧力上昇率 （Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
加熱方法 | · 抵抗・誘導 | 抵抗・誘導 | 抵抗・誘導 | 抵抗・誘導 | 抵抗・誘導 | 抵抗・誘導 | 抵抗・誘導 | 抵抗・誘導 |
真空蒸着炉
真空蒸着炉は炭素-炭素複合材料の製造に使用され、主に黒鉛、半導体デバイス、耐熱研磨材の表面に熱分解炭素コーティングを製造するために使用されます。
適用範囲:
グラファイト、半導体デバイス、耐熱研磨材。
1. 基本パラメータ:
1) 設計温度: 1250℃/1650℃/1800℃/2200℃
2) 共通温度: 900~1200℃
3) 真空度: < 50Pa
4) 圧力上昇率: 空の炉の冷間状態で 6.67pA /h (または 150Pa/24h)
5) 加熱モード: 黒鉛抵抗加熱または誘導加熱、独立した温度制御、良好な温度均一性
6) 雰囲気媒体: 真空/CH4/C3H6/H2/N2/Ar
7) ガス制御モード: 質量流量計制御、マルチチャネルガス経路、均一な流れ場、蒸着デッドアングルなし、良好な蒸着効果。
多段階かつ効率的な排気処理システム、環境に優しく、掃除が簡単。
8) 炉の種類: 正方形、円形、垂直または水平構造 (非標準設計)、完全に密閉された堆積チャンバー、良好なシール効果、強力な汚染防止能力。
9) 炉冷却モード: 炉殻水冷、外部循環急速冷却システムを選択でき、冷却時間が短く、生産効率が高い。
2.真空蒸着炉の構造：
構造形式：横型 - 横排出、縦型 - 上下排出
炉ドアロックモード：手動/自動
炉殻材質：内側ステンレス鋼/オールステンレス鋼
断熱材：カーボンフェルト/グラファイトフェルト/カーボンファイバー硬化フェルト
ヒーター、マッフル材質：グラファイト/CFC
赤外線機器: シングル比色分析/ダブル比色分析
電源：KGPS/IGBT（中周波加熱のみに適しています）
3、製品 仕様
パラメータ/型番 | GJC-0305-C | GJC-0505-C | GJC-0608-C | GJC-0612-C | GJC-0812-C | GJC-1120-C | GJC-1218-C | GJC-1520-C |
作業ゾーンのサイズ φ×H（mm） | 300×500 | 500×500 | 600×800 | 600×1200 | 800×1200 | 1100×2000 | 1200×1800 | 1500×2000 |
最高温度 （℃） | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 |
温度均一性（℃） | ±5 | ±5 | ±5/±7.5 | ±7.5/±10 | ±7.5/±10 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±15/±20 |
限界真空度（パ） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
圧力上昇率 （Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
加熱方法 | · 抵抗・誘導 | 抵抗・誘導 | 抵抗・誘導 | 抵抗・誘導 | 抵抗・誘導 | 抵抗・誘導 | 抵抗・誘導 | 抵抗・誘導 |
