CVD技術で使用される主な設備は化学蒸着炉で、主にさまざまなCVD実験に使用され、真空焼結、真空雰囲気保護焼結、ナノ材料の調製、電池材料の調製などの研究分野でも使用できます。ケミカ

化学気相成長 (CVD) は化学技術の一種で、主に 1 つまたは複数のガス状化合物または薄膜元素を含む元素を使用して、基板表面での化学反応によって薄膜を生成します。化学蒸着炉は、次のような準備をするための新しい技術です。