真空蒸着炉は、蒸着室、ガス供給系、排気系から構成されます。抵抗加熱や誘導加熱により、真空環境下で成膜ガスを流し、高温で熱分解させてワークに堆積させ、複合材料を緻密化する製造装置です。真空蒸着炉は炭素-炭素複合材料の製造に使用され、蒸着炉は主に黒鉛、半導体デバイス、耐熱性研磨材の表面熱分解炭素コーティングの製造に使用されます。
特長：簡単な操作、容易なメンテナンス、多種類のコーティングと複合材料の調製が可能、製品はコンパクトで均一、高純度で結晶サイズが高い 用途：カーボンカーボン製品、熱分解黒鉛、耐熱材料コーティング、粉末合成
真空蒸着炉の注意点
1、低温状態で真空引きするとき、内室と外室の圧力差が大きすぎることがわかりました。内室と外室の接続バルブが開いているかどうかを適時に確認する必要があります。開いていない場合は、高温状態になると内室が押し出し変形し、ひどい場合には亀裂が発生したり、生成物が酸化したりすることがあります。
図２に示すように、内室と外室に接続されたバルブは、急冷する場合や圧力上昇率を測定するために内室と外室を分離する必要がある場合にのみ閉じられ、それ以外の時は全開にしなければならない。
3、操作中、炉のメンテナンスを停止する必要があり、炉に窒素を充填するプロセス。オペレーターは、圧力が満たされるときに炉内の圧力変化を観察するために現場を待機する必要があります。微小正圧、膨張を停止します。インフレ圧力が高すぎると、炉の蓋が押し出されて製品が酸化するなど、重大な結果を引き起こす可能性があります。炉蓋ボルトを締めすぎると炉蓋が破裂し、飛散し、人身傷害の原因となることがあります。
4. 装置の全運転中、冷却水パイプがスムーズであるかどうか、炉底ピットに水が存在するかどうかを定期的にチェックする必要があります。水が炉の底の位置を超える場合は、時間内にポンプで水を抽出する必要があります。
5. 室温が高い場合は、変圧器温度制御冷却ファンとシステムキャビネット冷却ファンを開く必要があります。
