真空焼結炉は、主に半導体部品や電力整流装置の焼結工程に使用されます。
真空焼結、ガス焼結、通常焼結に使用できます。
特殊半導体装置シリーズの中で新しいプロセス装置です。
斬新な設計コンセプト、便利な操作、コンパクトな構造を備え、1 つの装置で複数のプロセス フローを完了することができます。
真空熱処理、真空ろう付けなどの他の分野にも使用できます。真空焼結炉の使用上の注意は?
日常的に使用するために、どのような緊急時対応計画が用意されていますか?見てみましょう!
まず、真空焼結炉の使用に必要なスキル
真空焼結炉は、中周波誘導加熱の原理を使用して、水素充填保護状態の後に真空にあり、
コイル内のタングステン坩堝が高温を発生させ、ワークへの放熱伝導により、
科学研究、軍隊、タングステン、モリブデンなどの耐火合金および合金粉末成形焼結に適しています。
電気炉を設置する場所は、真空衛生の要件を満たしている必要があり、周囲の空気は清潔で乾燥していなければなりません。
良好な換気条件が必要であり、作業場所は粉塵が発生しにくい場所です。真空炉
真空焼結炉の日常使用スキル:
1. コントロール キャビネット内のすべての部品と付属品が完全で無傷であることを確認します。
2. 制御盤を対応する土台に設置し、固定します。
3、配線図に従って、電気回路図を参照し、外部主回路と制御回路を接続し、信頼性の高い接地を行い、接続が正しいことを確認します。
4、電気可動部分が動き、カード現象がないことを確認してください。
5、絶縁抵抗は2メガオーム以上であるべきです。
6. 真空電気炉のバルブは必ず閉じてください。
7. 制御電源スイッチはオフの位置にあります。
8、手動圧力制御ノブ反時計回りの回転ヘッド。
9、開位置の警報ボタン。
10. 計画に従って、装置の循環冷却水の接続を完了します。循環水の故障や停電によるシールリングの焼損を防ぐため、予備の水 (利用可能な水道水) を装置の入口と出口のパイプ全体に接続することをお勧めします。
真空焼結炉を使用する場合は、特に次の点に注意してください。
1. 金型は一般的にユーザーが用意するため、金型材料は基本的に高純度のグラファイトであり、その圧力許容限界は 40MPa です。より安全な30MPa以下での使用を推奨します。
許容圧力(トン)=上下パンチ面積×30MPa
2、使用されるタングステンレニウムタイプの熱電対は、もろくなり、接触できません。損傷した場合は、時間内に交換してください。型番はW2です。
3、冬は水の循環に注意して暖かく保つ必要があります。そうしないと、パイプの破裂が発生しやすくなります。
4.炉内の断熱層は湿気の影響を受けやすいため、使用後は炉体を真空に保つ必要があります。これにより、次の真空排気が速くなります。
5、機器はより複雑であるため、特別な人員の使用、特別な人員は、初心者の使用前のトレーニング、使用後の検査、記録の操作と使用、およびその他の機器の使用規則の厳格な実施を担当することをお勧めします。
6、ホットプレス炉は真空焼結炉としても使用できます。真空焼結炉の場合、炉内に配置されたるつぼに注意してください。断熱スクリーンカバーを覆った後、中央の小さなカバーを覆うことを忘れないでください。そうしないと、炉を燃やすのは簡単です。
7.操作の前に、窓ガラスを掃除して観察し、炉の内壁を掃除し、水圧を観察し、炉内のグラファイトが損傷しているかどうかを観察し、電源投入後に機器が正常であるかどうかを観察し、テストする必要があります油圧システムが正常に機能するかどうか。
8. 1 年間使用した後、計器は校正のために計測部門に送付する必要があります。
2. 真空焼結炉の緊急工法
冷却水異常
1. 加熱電源が停止していることを確認します。
2. 炉外に漏水が発生し、冷却水に異常が生じた場合は、早急に応急処置を行ってください。水が確保できる場合は、引き続き真空を維持してください。
3. 冷却水が異常の場合、装置は停止状態になり、緊急冷却水が直ちに接続されます。
4、高温(200℃以上は高温とみなされます)で冷却水が停止した場合、緊急給水、水冷電極、熱交換器、真空チャンバーシェル、ポンプが損傷する可能性があります。
圧縮空気の停止
1. 圧縮空気に異常があり、設備が停止している場合は、速やかに予備のコンプレッサー室に行き、作業を再開させてください。
2. 真空中の圧縮空気に異常があり、回復に時間がかかる場合は、真空を停止し、装置を停止してください。
突然の停電
1.停電の場合、水が遮断された場合は、予備の冷却水をすぐに接続し、水源を接続する必要があります。
2、非加熱、加熱、冷却で、できるだけ早く回復できる場合は、機器を再起動し、時間がかかる場合は操作を続行し、機器は元の状態のままになります。
3、加熱と冷却の場合は、できるだけ早く元に戻すことができます。時間がかかる場合は、元の状態を保ち、機器を自然に冷却させます。
加熱電源が切断されています
1、低水圧、水圧が0.15MPa未満の場合、圧力計アラーム。
2. 地絡。
3、真空放電、水冷式電極接合部とヒーター接続をしっかりと接続し、反射スクリーンの断熱材を取り付ける必要があります。
4、炉内の圧力が 13.3 ~ 66.5Pa の場合 (この真空は放電しやすい)。停電の原因は、絶縁破壊による放電が考えられます。
5 曝気ガス(アルゴンまたは窒素)の停止
1. 真空引きを開始する前に、ガスの充填時間が長い場合や充填できない場合は、ガス管が詰まっていないか確認してください。
2. ガス配管に問題がなければ、電磁弁とガス充填弁の動作を確認してください。安全のために、それに関連するすべての機器を停止してからチェックする必要があります。
3. 真空チャンバー内への充填を停止できない場合、圧力逃がし弁が作動している間は、ガス供給弁および配管を含むすべてのガスシステムを閉じてください。
4. ガス充填配管に空気漏れがないか確認してください。あると、製品の品質に影響します。
真空チャンバー圧力の低下
1. 真空排気時間が通常より長い場合は、装置を停止して点検してください。真空チャンバー構造のさまざまな状態でのガス放電の影響によると、圧力上昇の状況もあります。
2. 圧力上昇テストまたはヘリウムリーク検出により、ガス漏れおよびベントの影響を確認します。
上記の内容は、特定の密度と特定の機械的特性を得るために、真空焼結炉の必要なスキルと日常の緊急方法の使用を紹介することです。材料の、一般的に 2 つのプロセスを使用します。すなわち加圧焼結と無加圧焼結である。加圧焼結は、高温、高真空度、高熱圧という特徴があります。